நுண்ணோக்கியின் தோற்றம், வளைந்த கண்ணாடிகள் அல்லது கண்ணாடிக் கோளங்கள் மூலம் தண்ணீரைப் பார்ப்பது, சிறிய விஷயங்களை உருப்பெருக்கம் மூலம் பார்க்க வைத்தது என்பது முன்னோர்களுக்குத் தெரியும். பதினேழாம் நூற்றாண்டின் முதல் தசாப்தங்கள் பொருள்களின் அதிகமயமாக்கலைப் பெறுவதற்காக லென்ஸ்கள் மூலம் சோதனைகளை மேற்கொள்ளத் தொடங்கியபோதுதான். இதற்காக அவை 1609 ஆம் ஆண்டில் கலிலியோவால் வானியல் நோக்கங்களுக்காக முதன்முறையாகப் பயன்படுத்தப்பட்ட " தொலைநோக்கி " பெரும் வெற்றியைப் பெற்ற லென்ஸ்கள் மூலம் தயாரிக்கப்பட்ட முதல் கருவியை அடிப்படையாகக் கொண்டது.
20 ஆம் நூற்றாண்டின் தொடக்கத்தில் இதன் உற்பத்தி முக்கியமாக ஜெர்மனியில் குவிந்துள்ளது மற்றும் அடுத்த ஆண்டுகளில் கட்ட மாறுபாடு, ஃப்ளோரசன், ஹாலோகிராபி, குறுக்கீடு, எக்ஸ்-கதிர்கள், புற ஊதா ஒளி, எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் புரோட்டான்கள் கொண்ட முறைகள் உருவாக்கப்பட்டன. கணினிமயமாக்கப்பட்ட நுண்ணோக்கிகள் அளவு, அளவு மற்றும் முப்பரிமாண பகுப்பாய்வு ஆகியவற்றிற்காகவும் உருவாக்கப்பட்டன, இந்த கருவிகள் நுண்ணோக்கி பகுதியில் பல துறைகளைத் திறந்தன. 1660 ஆம் ஆண்டு முதல் இன்றுவரை, ஒளியியல் நுண்ணோக்கி கண்ணுக்குத் தெரியாதவற்றின் ஆய்வுக்கான அடிப்படை தூணாக இருந்து வருகிறது. இருப்பினும், லென்ஸ்கள் தரத்தை மேம்படுத்துவதோடு அதன் உருப்பெருக்கத்தின் சக்தியுடனும் காலப்போக்கில் அதன் தீர்மானம் அதிகரித்தது.
1930 ஆம் ஆண்டில் எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கியை உருவாக்குவதன் மூலம் சப்மிக்ரோஸ்கோபிக் உலகம் விரிவாக்கப்பட்டது, இதன் ஒளியியல் நுண்ணோக்கிக்கு முக்கிய வேறுபாடு என்பது கவனிக்கப்பட்ட பொருளின் உருப்பெருக்கம் கட்டத்தில் 1000 மடங்கு அதிகரிப்பு ஆகும், மேலும் சிறந்த தெளிவுத்திறன் திறன் மற்றும் சிறந்த வரையறை மற்றும் உருப்பெருக்கம் நுண்ணிய உலகம்.
இரண்டு வகையான அடிப்படை எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கிகள் உள்ளன, இரண்டும் ஒரே நேரத்தில் கண்டுபிடிக்கப்பட்டன, ஆனால் அவை வெவ்வேறு செயல்பாடுகளை நிறைவேற்றுகின்றன, அவை:
- டிரான்ஸ்மிஷன் எலக்ட்ரான் மைக்ரோஸ்கோப் (எம்.இ.டி): இது ஒரு மெல்லிய அடுக்கு பொருள் அல்லது திசு வழியாக எலக்ட்ரான்களை ப்ராஜெக்ட் செய்வதற்கு பொறுப்பாகும், இது ஒரு பாஸ்போரசன்ட் திரையில் ஒரு படத்தை பிரதிபலிக்கிறது.
- ஸ்கேனிங் எலக்ட்ரான் மைக்ரோஸ்கோப் (SEM): இது ஒரு படத்தை உருவாக்குகிறது, இது மூன்று பரிமாணங்களில் இருப்பது போன்ற தோற்றத்தை அளிக்கிறது. இந்த நுண்ணோக்கி மூன்று அல்லது இரண்டு புள்ளிகளைப் பயன்படுத்துகிறது, அங்கு மாதிரியின் எலக்ட்ரான்கள் வந்து, அந்த மாதிரியின் மேற்பரப்பை ஸ்கேன் செய்ய வேண்டும்.
உயிரியலில் எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கியின் முன்னோடிகளில் பெரும்பாலானவர்கள் இன்னும் உயிருடன் இருக்கிறார்கள், மிக முக்கியமானவர்கள்: ஆல்பர்ட் கிளாட், எர்னஸ்ட் புல்லம், டான் பாசெட், சார்லஸ் லெப்லாண்ட், ஜான் லுஃப்ட், டேனியல் பீஸ், கீத் போர்ட்டர் மற்றும் ஜார்ஜ் பாலேட்.